河钢“芯片氪”，替代进口

芯片是信息社会的基石。近年来芯片需求迅速扩大，芯片行业发展备受关注。 　　在芯片制造过程中，不仅需要用到光刻机、硅片等核心设备或材料，还需要用到一种特殊气体，业内称之为电子特气。 　　电子特气广泛应用于半导体制造的各个工艺流程，参与几乎每一个环节，对整个芯片制造来说不可或缺，有半导体制造的“血液”之称。 　　近年来芯片国产化程度不断提升，电子特气作为关键领域，也在加快推进国产化进程。 　　氪气是电子特气家族的一员，它作为刻蚀气体贯穿整个芯片刻蚀过程，起着清洁刻蚀表面杂质和保护电路不被氧化的作用。 　　近日，由河钢邯钢研发生产的电子特气产品“芯片氪”，交付高端科技客户，质量完全满足客户需求。该产品将作为刻蚀气体替代进口产品，用于制造IDM集成电路芯片，助力芯片国产化。 　　氪气的纯度会影响到集成电路性能等关键指标，所以用于芯片制造的氪气对纯度要求极高，生产工艺难度大。随着芯片制程的微缩，半导体生产对“芯片氪”等电子特气的纯度提出了更高的要求，而这类高端电子特气领域长期被国外垄断，进口价格昂贵。 　　国产“芯片氪”等电子特气替代进口，可降低国产芯片产业制造成本，有助于提高国产芯片在全球芯片产业中的竞争力。 　　河钢邯钢加快培育壮大战略性新兴产业，充分发挥省级高纯特种气体工程实验室作用，积极开展航天级稀有气体研制、电子芯片用特种气体配制及稀有气体分离设备关键部件研制，不断加大氪、氖、氙、氩、氖等特种气体以及混合气体的市场开发力度，提升气体产品竞争力。 　　针对芯片制造对气体纯度和杂质控制的极高要求，河钢邯钢高纯特种气体工程实验室技术人员，突破了电子特气国产化的诸多技术瓶颈，掌握了多项特气提纯关键技术，采用自主研发的全自动配气装置，配制出多种电子级混合气，填补了国内空白。 　　此次供货，河钢邯钢根据客户工艺流程和所需刻蚀气体的品质需求，制定了专属工艺方案，严格过程质量控制，保证了产品高质量交付，获得客户高度认可。下一步，双方还将就其他气体产品开展合作。

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